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人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (3): 633-638.

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Y2O3-SiO2助剂对常压烧结SiC-AlN复相材料烧结性能的影响

陈云;李晓云;王玉春;冯永宝;戴斌;丘泰;孙悦   

  1. 南京工业大学,南京,210009;南京三乐电子信息产业集团有限公司,南京,211800
  • 出版日期:2016-03-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    江苏高校优势学科建设工程项目;长江学者和创新团队发展计划资助项目(PCSIRT,IRT1146)

Effects of Y2O3-SiO2 Additives on the Sintering Properties of the SiC-AlN Composites by Pressureless Sintering

CHEN Yun;LI Xiao-yun;WANG Yu-chun;FENG Yong-bao;DAI Bin;QIU Tai;SUN Yue   

  • Online:2016-03-15 Published:2021-01-20

摘要: SiC∶AlN以质量比1∶1,添加不同质量分数Y2O3-SiO2(摩尔比为2.9∶7.1)复合烧结助剂,分别在氢气和氩气气氛下常压烧结制备SiC-A1N复相材料.研究烧结气氛、烧成温度和Y2O3-SiO2含量对该复相材料烧结性能的影响.结果表明,与氢气气氛相比,氩气气氛下烧结体更易致密;1650 ~1850℃,随着烧结温度升高,烧结致密性明显提高.氩气气氛1850C下保温1h,Y2O3-SiO2复合助剂含量为9.09wt;,烧结体的显气孔率可低于0.15;,晶粒尺寸均匀且连接紧密.烧结过程中,Y2O3、SiO2烧结助剂与AlN表面的Al2O3在一定温度下形成液相有助于样品致密化.Y2O3与AlN表面的Al2O3反应生成钇铝石榴石(Y3Al5O12),SiO2高温下主要形成玻璃相.SiC-AlN复相材料是由主晶相6H-SiC和AlN,次晶相Y3Al5O12组成.

关键词: 碳化硅-氮化铝;常压烧结;烧结气氛;致密性

中图分类号: