N2流量对脉冲溅射CrNx薄膜结构和耐蚀性的影响

人工晶体学报 ›› 2018, Vol. 47 ›› Issue (12): 2599-2603.

N2流量对脉冲溅射CrNx薄膜结构和耐蚀性的影响

鲁媛媛;丁旭;罗甲文;吴坤尧

西安航空学院材料工程学院,新材料研究所,西安 710077

出版日期:2018-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
凝固技术国家重点实验室开放课题(SKLSP201858)

Effect of N2 Flow Rate on Microstructure and Corrosion Resistance of Pulse Sputtering CrNx Thin Films

LU Yuan-yuan;DING Xu;LUO Jia-wen;WU Kun-yao

Online:2018-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用脉冲磁控溅射法在不同氮气流量下制备出CrNx薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和电化学工作站对薄膜进行了系统分析,以研究氮气流量对其微观结构和耐蚀性的影响规律.结果表明:氮气流量较低时,薄膜的物相为Cr2 N+CrN的复合相,当氮气流量增加至150 sccm,物相转变为CrN单相;表面和截面形貌照片显示,随着氮气流量的增多,薄膜的表面粗糙度逐渐减小、致密度也得到改善.物相的变化和致密度的改善,使得腐蚀电流密度随氮气流量的增加而降低,即腐蚀速度逐渐减小,当氮气流量为150 sccm时薄膜表现出最好的耐蚀性.

中图分类号:

TG17

鲁媛媛;丁旭;罗甲文;吴坤尧. N2流量对脉冲溅射CrNx薄膜结构和耐蚀性的影响[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(12): 2599-2603.

LU Yuan-yuan;DING Xu;LUO Jia-wen;WU Kun-yao. Effect of N2 Flow Rate on Microstructure and Corrosion Resistance of Pulse Sputtering CrNx Thin Films[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2018, 47(12): 2599-2603.

[1]	方慧敏;张光胜;夏莲森. 渗硼强化对铁基粉末冶金材料的性能影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1960-1966.
[2]	秦梅;郝惠兰;田玉明;力国民;武雅乔;白频波. 氧化钙对陶粒支撑剂结构和破碎率的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1522-1526.
[3]	郭莉;韩宣宣;杨晓;张开来;赵强;申会东;王丹军. Ag3 PO4量子点修饰Ag3 PO4/Bi2 WO6异质光催化剂的构筑及其可见响应活性增强机制[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 901-906.
[4]	麻晓霞;高灵娟;马玉龙;翟喜会;杨青萍;马春香. 正交法优化ZnO/MMT抗菌材料制备条件及抑菌活性研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 928-932.
[5]	许文君;梁进闯;周恒为;黄以能;陈云飞;尹红梅. 烧结温度对(Ba0.85 Ca0.15)(Ti0.9 Hf0.1)O3陶瓷压电性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 955-960.
[6]	边洋;徐萍萍;申奥;赵洋强;张子英;张俊婷;侯春宁. α-Fe2O3单晶纳米片的制备及其电化学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(2): 185-189.
[7]	蒲华俊;曾淋林;徐晓东;贺建雄;谢东恒;赵会峰;姜宏. 无需热处理高炉渣微晶玻璃的制备与表征[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(8): 1547-1553.
[8]	陈枭. Ti-B-Co-Cr热喷粉体及其涂层微观结构[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(8): 1735-1741.
[9]	赵永涛;汤安;张红松;张冰;徐晓东. (Sm1-xAlx)2Ce2O7化合物的热物理性能[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(7): 1480-1485.
[10]	邹岩龙;陈清宇;姚海龙;白小波;王芳;纪岗昌. 超音速火焰喷涂HA/Ti复合涂层组织与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(4): 744-749.
[11]	赵永涛;刘喜艳;张昊明;张红松;张冰;王新莉;李振军;李刚. Hf微量掺杂Sm2Ce2O7固溶体制备及热物理性能[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(3): 606-611.
[12]	张瑞珠;韩林萍;唐明奇;任洋洋;李林杰. 钛合金微弧氧化陶瓷层及其复合膜层研究进展[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(1): 219-224.
[13]	彭绪山;李永平;章晓敏;王水. 基于BP神经网络的Ni-TiN镀层腐蚀速率预测研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(10): 2556-2560.
[14]	杨焕;王思青;王衍飞. 热障涂层用稀土锆酸盐陶瓷材料研究进展[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(9): 2331-2335.
[15]	张仙平;陈晓鸽;张红松. 热障涂层用陶瓷材料研究进展[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1906-1912.