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人工晶体学报 ›› 2018, Vol. 47 ›› Issue (6): 1102-1112.

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原子层沉积二氧化钛薄膜对钙钛矿太阳电池性能的影响

郭升;侯福华;李跃龙;魏长春;赵颖;张晓丹   

  1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津 300071;天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津 300071;光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071
  • 出版日期:2018-06-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    Fundamental Research Funds for the Central Universities of China;National Natural Science Foundation of China(61474065, 61674084);Tianjin Research Key Program of Application Foundation and Advanced Technology(15JCZDJC31300);111 Project(B16027);Open Fund of the Key Laboratory of Optical Information Science & Technology of Nankai University(2017KFKT014);Green Channel Project of Tianjin Natural Science Foundation(17JCYBJC41400)

Atomic Layer Deposited TiO2 Layer for Efficient Planar Perovskite Solar Cells

GUO Sheng;HOU Fu-hua;LI Yue-long;WEI Chang-chun;ZHAO Ying;ZHANG Xiao-dan   

  • Online:2018-06-15 Published:2021-01-20

摘要: 电子传输层是钙钛矿太阳电池的重要组成部分.采用原子层沉积的方法制备二氧化钛薄膜,并将其作为电子传输层制备了平面钙钛矿太阳电池.系统研究了二氧化钛薄膜厚度和退火温度对钙钛矿太阳电池性能的影响.研究结果表明,TiO2的沉积速率约为0.41 ?/cycle,13 nm左右的二氧化钛薄膜能够获得较好的电池性能;后期退火改善了TiO2薄膜的光学和电学性能,但是退火产生的微小裂纹限制了电池的性能,因此,选择90 ℃退火条件下制 备的二氧化钛.最终利用原子层沉积制备的TiO2得到了17.1;的电池效率.

关键词: 原子层沉积;二氧化钛;薄膜厚度;退火;钙钛矿太阳电池

中图分类号: