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人工晶体学报 ›› 2018, Vol. 47 ›› Issue (7): 1450-1456.

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宏观内应力掠入射衍射分析中X射线折射作用引入的误差

杜继实;唐兵华   

  1. 中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳,621900
  • 出版日期:2018-07-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    中国工程物理研究院科学发展重点基金(2014A0302012)

Data Error Due to X-ray Refraction in Residual Stress Analysis by Grazing-incidence Diffraction

DU Ji-shi;TANG Bing-hua   

  • Online:2018-07-15 Published:2021-01-20

摘要: 宏观内应力X射线掠入射衍射分析中,X射线折射作用引入的衍射角测定误差必然对分析产生影响.本文基于数值方法计算了Euler角定位及Hauk角定位的X射线掠入射衍射分析中因X射线折射作用引入的衍射角测定误差及其在几种宏观内应力测试方法中引入的应变测定误差.在一定角度范围内采用侧倾法可避免X射线折射作用引入的应变测定误差,而采用侧倾法及固定X射线有效穿透深度的Ψ-Ω法测试时必须对测定结果进行数据修正.

关键词: 宏观内应力;掠入射X射线衍射(GIXRD);折射;误差

中图分类号: