一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力

人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (10): 1860-1862.

一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力

戴生伢;黄振进;柳祝平;高长有;王东海;庞旭

南京理工宇龙新材料科技股份有限公司,南京,211212;元亮科技有限公司,无锡,214000;江苏京晶光电科技有限公司,常州,213314;同济大学物理科学与工程学院,上海,200092

出版日期:2019-10-15 发布日期:2021-01-20

One-step Process for Eliminating Internal Stress in Sapphire Crystal Materials

DAI Sheng-ya;HUANG Zhen-jin;LIU Zhu-ping;GAO Chang-you;WANG Dong-hai;PANG Xu

Online:2019-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力.为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理.使用现有“两步法”退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本.现提出了“一步法”退火工艺,即在1750～ 1800℃空气气氛中直接进行高温退火.蓝宝石晶棒经“一步法”退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100;和70;.蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广.

中图分类号:

O77+9

戴生伢;黄振进;柳祝平;高长有;王东海;庞旭. 一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1860-1862.

DAI Sheng-ya;HUANG Zhen-jin;LIU Zhu-ping;GAO Chang-you;WANG Dong-hai;PANG Xu. One-step Process for Eliminating Internal Stress in Sapphire Crystal Materials[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2019, 48(10): 1860-1862.