探测器级单晶金刚石材料的生长

人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (11): 1990-1991.

探测器级单晶金刚石材料的生长

刘金龙;李成明;朱肖华;邵思武;陈良贤;魏俊俊

北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083

出版日期:2019-11-15 发布日期:2021-01-20

Growth of Detector Grade Single Crystal Diamond

LIU Jin-long;LI Cheng-ming;ZHU Xiao-hua;SHAO Si-wu;CHEN Liang-xian;WEI Jun-jun

Online:2019-11-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用高质量高温高压单晶金刚石衬底,通过等离子体环境净化的方法获得高纯、低缺陷密度金刚石材料,有望应用于医疗、核、宇宙射线等辐射探测器.采用微波化学气相沉积方法成功外延生长出了8 mm×8 mm的高质量单晶金刚石材料.晶体内无明显的应力集中区,X射线摇摆曲线(004)峰半高宽0.008°,PL光谱中未见与氮相关杂质,基于电子顺磁共振测试孤氮杂质含量为23ppb.

中图分类号:

TQ163

刘金龙;李成明;朱肖华;邵思武;陈良贤;魏俊俊. 探测器级单晶金刚石材料的生长[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(11): 1990-1991.

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