腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究

人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (12): 2216-2221.

腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究

马睿;王建彬;周超群;童勇强;徐义亮

安徽工程大学机械与汽车工程学院,芜湖,241000;芜湖恒信汽车内饰制造有限公司,芜湖,241009

出版日期:2019-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
安徽省自然科学基金(1708085QE127);安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyqZD2019051);校国家基金预研项目(2017yyzr06);安徽工程大学2018年度中青年拔尖人才培养计划;南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金;安徽工程大学研究生教育创新基金

Experimental Study on the Measurement of Subsurface Damage of Ground Sapphire by Corrosion Method

MA Rui;WANG Jian-bin;ZHOU Chao-qun;TONG Yong-qiang;XU Yi-liang

Online:2019-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 化学腐蚀法是一种简单有效的蓝宝石亚表面损伤深度检测方法.利用高温熔融KOH对蓝宝石工件的化学腐蚀作用,开展W40固结磨料研磨后蓝宝石工件的化学腐蚀实验,设计耐高温陶瓷夹具固定腐蚀液中工件位置,并用称重法测算腐蚀速率和腐蚀厚度,揭示亚表面损伤的形成机理.结果表明:采用陶瓷夹具固定工件可使腐蚀面积的均匀性大大提高,平均腐蚀速率提高9.21;左右.蓝宝石工件的腐蚀速率和腐蚀厚度逐渐减小,最后趋于稳定,其亚表面损伤深度约为8.41 μm.天平称重法可有效提高腐蚀速率和腐蚀厚度的测算精度,为蓝宝石亚表面损伤的有效测量提供帮助.

中图分类号:

TN305.2
O786

马睿;王建彬;周超群;童勇强;徐义亮. 腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(12): 2216-2221.

MA Rui;WANG Jian-bin;ZHOU Chao-qun;TONG Yong-qiang;XU Yi-liang. Experimental Study on the Measurement of Subsurface Damage of Ground Sapphire by Corrosion Method[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2019, 48(12): 2216-2221.

[1]	魏也;周兵;桑胜波;邓宵;柴晶;陈泽华;张文栋. 粒子束注入单晶硅尺寸效应的机理研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1064-1071.
[2]	郭钰;彭同华;刘春俊;袁文霞;蔡振立;张贺;王波. 影响化学机械抛光4H导电SiC晶片表面质量的关键参数研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 759-765.
[3]	徐龙华;许崇海;吴光永;肖光春;衣明东. 超声波化学镀法制备Ni-B包覆CaF2粉体[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(1): 252-258.
[4]	陈进;杨莺;邢青青;张力;晁苗苗;穆美珊. 6H-SiC硅面S钝化工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(11): 3000-3004.
[5]	梁庆瑞;胡小波;陈秀芳;徐现刚;宗艳民;王希杰. 4H-SiC的强氧化液化学机械抛光[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(7): 1741-1747.
[6]	梁庆瑞;宗艳民;王希杰;陈秀芳;徐现刚;胡小波. 金刚石微粉对SiC机械抛光的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(2): 295-300.
[7]	王金普;白林山;储向峰. 硬盘微晶玻璃基板化学机械抛光研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(1): 216-220.
[8]	李峰;杨莺;李碧珊;陈进;邢青青;侯志斌. Si(100)表面S钝化效果与稳定性研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(7): 1657-1661.
[9]	熊伟;储向峰;董永平;毕磊;叶明富;孙文起. 不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1064-1069.
[10]	张维连;牛新环;吕海涛;张恩怀;孙军生. 掺锗CZSi中与锗有关的红外光谱特性[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(5): 792-796.