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人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (2): 321-325.

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光化学溶胶-凝胶制备PLZT铁电薄膜及其光电特性

李祯;杨得草;李尔波;岳建设   

  1. 咸阳师范学院化学与化工学院,咸阳,712000
  • 出版日期:2019-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    陕西省大学生创新创业训练计划项目(201828052)

Fabrication and Photovoltaic Property of PLZT Ferroelectric Thin Film by Photochemical Sol-gel Method

LI Zhen;YANG De-cao;LI Er-bo;YUE Jian-she   

  • Online:2019-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 为了降低PLZT铁电薄膜的结晶温度,使用溶胶-凝胶法配合紫外光辐照的光化学工艺,在单晶硅基板上低温制备了PLZT铁电薄膜.经过紫外辐照过的凝胶膜可以在400℃促使PLZT获得良好的铁电性能,剩余极化强度为12.3μC/cm2.紫外辐照过的薄膜可以在低温下有效地分解金属醇盐,形成活性金属氧化物,保证材料低温结晶.辐照过程中产生的臭氧可以带走薄膜中的残炭,使得薄膜具有良好的铁电性能.低温制备的PLZT铁电薄膜获得了稳定的光电流和较好的光电转化效率.

关键词: PLZT;铁电薄膜;溶胶-凝胶法;光电特性

中图分类号: