Al液滴在GaAs表面的熟化行为研究

人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (10): 1819-1824.

Al液滴在GaAs表面的熟化行为研究

李耳士;黄延彬;郭祥;王一;罗子江;李志宏;蒋冲;丁召

贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳 550025;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;贵州财经大学信息学院,贵阳 550025

出版日期:2020-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
(国家自然科学基金);(贵州省科学技术基金)

Ripening Behavior of Al Droplet on GaAs Surface

LI Ershi;HUANG Yanbin;GUO Xiang;WANG Yi;LUO Zijiang;LI Zhihong;JIANG Chong;DING Zhao

Online:2020-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 为探究Al液滴在GaAs表面的熟化行为,利用液滴外延法在GaAs衬底表面制备Al液滴.在零As压环境下,通过控制退火时间有效控制Al液滴的生长、成核.结合热力学原理和晶体生长理论对样品形貌变化现象进行物理解释,构建出液滴形貌变化过程中熟化、刻蚀和扩散行为的基本模型.理论计算表明,液滴在熟化行为达到退火239 s的平衡点后,被向下刻蚀和向外扩散两个行为同时消耗.

中图分类号:

O472

李耳士;黄延彬;郭祥;王一;罗子江;李志宏;蒋冲;丁召. Al液滴在GaAs表面的熟化行为研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(10): 1819-1824.

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