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人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (2): 305-311.

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ZrO2陶瓷显微结构对绿光飞秒激光加工过程的协同效应

吕健;王宏建;曹佐;袁莉娟;李冰;左飞;周锐;谢庆丰;林华泰   

  1. 广东工业大学机电工程学院,广州,510006;东莞华晶粉末冶金有限公司,东莞,523850
  • 出版日期:2020-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    广东省创新团队项目(2013G061);国家自然科学基金(51802042)

Synergistic Effect of Microstructure on Green Femtosecond Laser Machining Behavior of ZrO2 Ceramics

LYU Jian;WANG Hongjian;CAO Zuo;YUAN Lijuan;LI Bing;ZUO Fei;ZHOU Rui;XIE Qingfeng;LIN Huatay   

  • Online:2020-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 氧化锆(ZrO2)陶瓷因其性能优异,常被应用于医学与工业等领域.通过表面微纳加工可进一步发挥其性能优势,扩大应用范围.实验采用绿光飞秒激光对具有不同显微结构的ZrO2陶瓷基体进行微孔加工,结合显微结构差异对材料物理性能的影响,系统研究了激光加工功率与加工时间等工艺参数对微孔形貌、直径及深度等不同维度下形貌学特征的作用效果.结果表明,同一加工参数下,晶粒更小、显微结构更均匀、热导率更低的ZrO2具有更高的加工效率;通过对比微孔直径与深度随激光加工工艺参数的变化,发现材料显微结构的差异对微孔轴向的影响比径向更加显著.

关键词: 氧化锆, 显微结构, 绿光飞秒激光, 表面微结构

中图分类号: