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人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (3): 398-401.

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导模法生长超大尺寸蓝宝石板材的研究

王东海;徐军;李东振;王庆国;罗平;董建树;潘燕萍   

  1. 同济大学物理科学与工程学院,上海,200092;南京同溧晶体材料研究院,南京,211212;常州市乐萌压力容器有限公司,常州,213001
  • 出版日期:2020-03-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(61805177,61621001)

Study on the Growth of Super Large Sapphire Plate by EFG Method

WANG Donghai;XU Jun;LI Dongzhen;WANG Qingguo;LUO Ping;DONG Jianshu;PAN Yanping   

  • Online:2020-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用自主设计制造的导模炉,通过热场模拟辅助设计出理想的模具表面温度分布,采用两段加热的方式控制晶体的应力和气泡缺陷,选择合适的提拉速率控制气泡层的分布,成功生长了高质量超大尺寸蓝宝石单晶板材,蓝宝石板材可利用尺寸690 mm×300 mm×12 mm.摇摆曲线半高宽为0.0163°,说明晶体具有良好的结晶质量.5 mm厚度样品的透过光谱测试表明,透过率与用其它晶体生长方法的晶体相同.

关键词: 导模法;光电窗口;蓝宝石板材

中图分类号: