人工晶体学报 ›› 2025, Vol. 54 ›› Issue (9): 1667-1667.DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2025.9002
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. 富加镓业突破6英寸VB法氧化镓单晶制备技术[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(9): 1667-1667.
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图1 6英寸VB法氧化镓单晶锭
图2 VB法氧化镓晶体生长装备
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