摘要： 本文采用燃烧焰法观察金刚石薄膜的成核生长过程.分析了衬底表面刻划及油污处理等因素对金刚石成核的影响.观察到成核初期的金刚石不具有明显晶形,含有较高的石墨相.XRD谱表明:成核初期衬底表面形成非金刚石结构的过渡层.并提出了控制成核密度提高沉积质量的思想.
中图分类号:
张伟;高军. 气相合成金刚石薄膜的成核习性研究[J]. 人工晶体学报, 1999, 28(3): 275-278.
Zhang Wei;Gan Jun. Research on the Nucleation Formation of Vapor-deposition Diamond Film[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 1999, 28(3): 275-278.
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