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人工晶体学报 ›› 1999, Vol. 28 ›› Issue (3): 279-282.

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不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究

黄树涛;于骏一;姚英学;袁哲俊   

  1. 吉林工业大学机械工程系,长春130025;哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001
  • 出版日期:1999-03-15 发布日期:2021-01-20

Study on the Diamond Film Nucleation Feature of Different Substrate Materials

Huang Shutao;Yu Junyi;Yao Yingxue;Yuan Zhejun   

  • Online:1999-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 研究了金刚石薄膜在WC-6;Co硬质合金、金属W和单晶Si片上的成核特点.实验结果表明,金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同.用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶Si片上的成核密度有较大影响,而对在WC-6;Co硬质合金和金属W上的成核密度没有太大影响.

关键词: 金刚石薄膜;成核密度;衬底材料;化学气相沉积

中图分类号: