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人工晶体学报 ›› 2004, Vol. 33 ›› Issue (6): 1035-1040.

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晶体的超精密抛光

谢会东;王晓青;沈光球   

  1. 清华大学化学系,功能晶体与薄膜研究所,北京,100084
  • 出版日期:2004-12-15 发布日期:2021-01-20

Superpolishing of Crystals

  • Online:2004-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义.超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法.本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评价方法等进行了介绍.同时描述了超精密抛光的发展阶段、现状和发展趋势.

关键词: 超光滑表面;超精密抛光;表面粗糙度;平面度

中图分类号: