溶胶电泳沉积法制备PZT压电厚膜及其性能研究

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (1): 38-41.

溶胶电泳沉积法制备PZT压电厚膜及其性能研究

周静;李君;魏长松;刘维华;陈文

武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉,430070

出版日期:2007-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50402014)

Investigate on the Properties of PZT Film Fabricated by Electrophoretic Deposition Method

ZHOU Jing;LI Jun;WEI Chang-song;LIU Wei-hua;CHEN Wen

Online:2007-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶方法制备Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)纳米粉末,将此粉末按一定比例加入到同成分PZT溶胶中,采用溶胶-电泳沉积技术在ITO玻璃衬底上制备PZT厚膜.采用X射线衍射分析、SEM及HP4294A阻抗分析仪等对PZT膜进行了微观结构和介电性能测试,研究了电泳电压、热处理温度及电泳时间对PZT膜结构及膜厚的影响,结果表明,在1V电压下进行电泳,600℃热处理20min,可以得到表面均匀平整的纯钙钛矿结构PZT膜,以(110)择优取向,通过控制电泳时间可有效控制膜的厚度.获得了膜厚为30μm、介电常数达到ε33T/ε0=781、介电损耗为tanδ=0.0083、剩余极化与矫顽电场强度分别为24.6μC/cm2与61.9kV/cm铁电性能较好的PZT膜材料.

中图分类号:

TQ174

周静;李君;魏长松;刘维华;陈文. 溶胶电泳沉积法制备PZT压电厚膜及其性能研究[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(1): 38-41.

ZHOU Jing;LI Jun;WEI Chang-song;LIU Wei-hua;CHEN Wen. Investigate on the Properties of PZT Film Fabricated by Electrophoretic Deposition Method[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2007, 36(1): 38-41.

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