电阻蒸发铝薄膜结构及其对非晶硅太阳电池性能的影响

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (1): 152-156.

电阻蒸发铝薄膜结构及其对非晶硅太阳电池性能的影响

孙建;薛俊明;侯国付;王锐;张德坤;赵颖;耿新华

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071;光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071;光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071

出版日期:2007-02-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
天津市科技发展基金(06YFGZGX02100);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2006CB202602;2006CB202603);天津市自然科学基金(043604911)

Structural Characteristic of Thermal Evaporated Al Back-electrodes and Its Influence on the Performance of a-Si:H Solar Cells

SUN Jian;XUE Jun-ming;HOU Guo-fu;WANG Rui;ZHANG De-kun;ZHAO Ying;GENG Xin-hua

Online:2007-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文首先采用电阻蒸发法制备了不同厚度的Al薄膜,并选择了两个典型厚度的Al薄膜制备工艺来制备非晶硅太阳电池的Al背电极,研究了Al背电极厚度对电池性能的影响.结果表明,Al背电极的厚度由800nm减薄到70nm时,电池的Voc平均值由0.826V增加到0.829V,电池的Jsc平均值由11.747mA/cm2减小到11.318 mA/cm2,电池的FF平均值由0.701增加到0.728,而电池效率的平均值略有增加,由6.803;增加到6.833;.用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了玻璃衬底上蒸发的Al薄膜和非晶硅电池Al背电极表面形貌和微观结构的变化,分析了电池性能随Al背电极厚度变化的原因.

中图分类号:

O484

孙建;薛俊明;侯国付;王锐;张德坤;赵颖;耿新华. 电阻蒸发铝薄膜结构及其对非晶硅太阳电池性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(1): 152-156.

SUN Jian;XUE Jun-ming;HOU Guo-fu;WANG Rui;ZHANG De-kun;ZHAO Ying;GENG Xin-hua. Structural Characteristic of Thermal Evaporated Al Back-electrodes and Its Influence on the Performance of a-Si:H Solar Cells[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2007, 36(1): 152-156.

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