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人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (2): 373-376.
吴正龙;李庚伟
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RSS出版日期:2007-04-15
发布日期:2021-01-20
基金资助:WU Zheng-long;LI Geng-wei
Online:2007-04-15
Published:2021-01-20
摘要： 在ZnO的XPS分析中,ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态,结合O1s光电子峰的分析,可表征ZnO中缺氧程度.通过XPS的对比实验,表明采用氧(O)离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜,能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题,降低薄膜层中的孔隙率,提高淀积ZnO薄膜质量.XPS深度剖析结果还表明采用O离子辅助PLD共淀积后膜层中Zn的氧化组分和孔隙率随深度变化平缓.
中图分类号:
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