硼掺杂金刚石薄膜研究

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (3): 569-572.

硼掺杂金刚石薄膜研究

魏俊俊;贺琦;高旭辉;郭会斌;石绍渊;吕反修;唐伟忠;陈广超

北京科技大学材料学院,北京,100083;北京大学环境资源工程学院,100871

出版日期:2007-06-15 发布日期:2021-01-20

Study of Boron-doped Diamond Film

WEI Jun-jun;HE Qi;GAO Xu-hui;GUO Hui-bin;SHI Shao-yuan;LU Fan-xiu;TAGN Wei-zhong;CHEN Guang-chao

Online:2007-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 硼掺杂是改善金刚石薄膜电阻率的有效手段,被认为是将金刚石薄膜用于制备电化学电极的途径.本文通过CVD法在单晶硅片上制得掺硼金刚石薄膜(BDD),并采用四点探针、扫描电镜、激光拉曼和电化学工作站对之进行检测,发现随着硼掺入量的增加,薄膜电阻率逐渐降低,重掺杂时可达2.0×10-3Ω·cm.同时金刚石薄膜的固有质量出现恶化,表现为金刚石晶粒的碎化以及拉曼观察到的薄膜内应力的增加和非金刚石峰的出现.对薄膜电极进行电化学测量发现BDD电极在酸性溶液中具有非常宽的电位窗口和高的阳极极化电位,且背景电流极低.

中图分类号:

TB43

魏俊俊;贺琦;高旭辉;郭会斌;石绍渊;吕反修;唐伟忠;陈广超. 硼掺杂金刚石薄膜研究[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(3): 569-572.

WEI Jun-jun;HE Qi;GAO Xu-hui;GUO Hui-bin;SHI Shao-yuan;LU Fan-xiu;TAGN Wei-zhong;CHEN Guang-chao. Study of Boron-doped Diamond Film[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2007, 36(3): 569-572.

[1]	代同光, 谭新, 宋志成, 郭永刚, 袁雅静, 倪玉凤, 汪梁. TOPCon太阳电池单面沉积Poly-Si的工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(5): 818-823.
[2]	周慎敏, 张宇. As₄₀Se₆₀硫系玻璃基底薄膜制备与应力分析[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(8): 1540-1547.
[3]	段超, 李坤, 高岗, 杨磊, 徐梁格, 浩钢, 朱嘉琦. 原子层沉积及其在透明导电薄膜领域的研究与应用[J]. 人工晶体学报, 2023, 52(6): 1052-1066.
[4]	刘丽华, 赵晶晶, 秦彬皓, 杨为家, 王海燕. 射频溅射功率对Mn-Co-Ni-O薄膜结构与性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(8): 1361-1369.
[5]	杨欣蕾, 弥谦, 龚立榕, 周凤琳. 圆筒式柱面磁控溅射靶的磁场设计与仿真研究[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(9): 1765-1773.
[6]	郑彧, 张怡, 童亚琦, 玄真武. 掺硼金刚石膜研究进展及应用[J]. 人工晶体学报, 2021, 50(6): 1138-1148.
[7]	邓福铭;薄祥;许晨阳;郝岑;王双;郭振海;解亚娟. CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(10): 1879-1885.
[8]	胡浩威;井津域;李钦;宋忠孝. SiNX覆盖层厚度对非晶In-Ga-Zn-O薄膜退火晶化的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 907-912.
[9]	丁泽良;张诗淼;王双雄;林长生;周枫林. Al2O3膜层制备参数对SiO2/Al2O3/PET复合膜透湿性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(10): 1946-1950.
[10]	朱彦旭;王岳华;宋会会;邹德恕;李莱龙;石栋. 溅射制备不同厚度Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜结晶态的研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1002-1008.
[11]	樊志琴;何源源;李瑞. 磁控溅射Cu薄膜的光电性能研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1072-1077.
[12]	霍海波;杨卫飞;麻华丽;丁佩;曾凡光. 3D型冷阴极结构形态对场发射影响研究[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1138-1142.
[13]	祝祖送;朱德权;邱俊;易明芳;张杰;闻军. 化学气相沉积单层VIB族过渡金属硫化物的研究进展[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1175-1183.
[14]	霍海波;麻华丽;丁佩;曾凡光. 基于有限元轴对称分析的碳纳米管场增强因子建模与计算[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(12): 3290-3294.
[15]	张胜男;朱宁;陈凯玉;张瑜. 维生素B6在修饰掺硼金刚石薄膜电极上的测定[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(6): 1460-1464.