PET上沉积Al掺杂ZnO薄膜的光电特性研究

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (6): 1274-1278.

PET上沉积Al掺杂ZnO薄膜的光电特性研究

杨贵源;周雄图;马学鸣;石旺舟

华东师范大学物理系,光谱学与波谱学教育部重点实验室,上海,200062

出版日期:2007-12-15 发布日期:2021-01-20

Optical and Electrical Properties of AI Doped ZnO Thin Films Prepared on Flexible PET at Room Temperature

YANG Gui-yuan;ZHOU Xiong-tu;MA Xue-ming;SHI Wang-zhou

Online:2007-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用脉冲激光沉积技术(PLD),室温下在柔性衬底PET上制备了高度c轴择优取向的Al掺杂ZnO薄膜.XRD分析表明,不同Al掺杂浓度的样品均呈现单一的ZnO相.荧光光谱和透射光谱分析显示,低温低氧压下制备的Al掺杂ZnO薄膜在紫光区域有很强的荧光发射,在可见光区域具有较高的透射率;并且可以通过Al掺杂浓度调节薄膜紫色发光强度和薄膜带隙.薄膜的电阻率随着Al掺杂浓度的增加先降低后增加,在掺杂浓度为3;原子分数时达到最小值.

中图分类号:

O484

杨贵源;周雄图;马学鸣;石旺舟. PET上沉积Al掺杂ZnO薄膜的光电特性研究[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(6): 1274-1278.

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