4H-SiC晶体表面形貌和多型结构变化研究

人工晶体学报 ›› 2010, Vol. 39 ›› Issue (3): 559-563.

4H-SiC晶体表面形貌和多型结构变化研究

彭燕;宁丽娜;高玉强;徐化勇;宋生;蒋锴;胡小波;徐现刚

山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;嘉兴学院,嘉兴,314000

出版日期:2010-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(50721002;50472068);教育部科技创新工程培育资金项目(707039)

Study on Surface Morphology and Polytype Transition of 4H-SiC Single Crystals

PENG Yan;NING Li-na;GAO Yu-qiang;XU Hua-yong;SONG Sheng;JIANG Kai;HU Xiao-bo;XU Xian-gang

Online:2010-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用光学显微镜、显微拉曼光谱仪研究了4H-SiC晶体表面形貌和多型分布.显微镜观察结果显示4H-SiC小面生长螺蜷线呈圆形,沿<11(2-)0>方向容易出现裂缝.裂缝两侧有不同的生长形貌.拉曼光谱结果显示缺陷两侧为不同的晶型,裂缝实际为晶型转化的标志.纵切片观察发现,在4H-SiC和15R-SiC多型交界处产生平行于<11(2-)0>方向裂缝;15R-SiC多型一旦出现,其径向生长方向平行于<11(2-)0>方向,轴向生长方向平行于<000(1-)>方向.

中图分类号:

O771
O782

彭燕;宁丽娜;高玉强;徐化勇;宋生;蒋锴;胡小波;徐现刚. 4H-SiC晶体表面形貌和多型结构变化研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(3): 559-563.

PENG Yan;NING Li-na;GAO Yu-qiang;XU Hua-yong;SONG Sheng;JIANG Kai;HU Xiao-bo;XU Xian-gang. Study on Surface Morphology and Polytype Transition of 4H-SiC Single Crystals[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2010, 39(3): 559-563.

[1]	柯瑞;张宇民;陈子羿;周玉锋;宋志成. 蓝宝石单晶纳米压痕蠕变性能研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(3): 487-491.
[2]	宋生;崔潆心;杨昆;徐现刚;胡小波;黄万霞;袁清习. 同步辐射白光形貌术定量计算晶体的残余应力[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(12): 2515-2519.
[3]	胡克艳;唐慧丽;王静雅;钱小波;徐军;杨秋红. 导模法蓝宝石单晶的位错缺陷及其力学性能的研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(7): 1252-1256.
[4]	杨华军;张庆礼;彭方;王小飞;高进云;罗建乔;孙敦陆;王迪;刘文鹏. 提拉法生长的5at; Yb∶GdTaO4晶体的结构和光谱性能分析[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(5): 788-793.
[5]	姜涛;严成锋;陈建军;刘熙;杨建华;施尔畏. Ar气氛下退火处理对6H-SiC晶片表面结构的影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(5): 865-868.
[6]	蒋建军;代立东;李和平;胡海英;惠科石;单双明. 高温高压下天然峨眉山玄武岩的阻抗谱实验研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(5): 968-975.
[7]	高玉强;彭燕;李娟;陈秀芳;胡小波;徐现刚;蒋民华. 以(10(1)5)面为籽晶的6H-SiC单晶生长与缺陷研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(2): 287-290.
[8]	王英民;宁丽娜;彭燕;徐化勇;胡小波;徐现刚. 6H-SiC成核表面形貌与缺陷产生的研究[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(1): 7-10.
[9]	姜守振;李娟;陈秀芳;王英民;宁丽娜;胡小波;徐现刚;王继杨;蒋民华. 沿[1-100]方向升华法生长6H-SiC单晶[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(1): 14-17.
[10]	彭观良;李抒智;庄漪;邹军;王银珍;刘世良;周国清;周圣明;徐军;干福熹. c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(5): 833-837.
[11]	彭观良;周国清;庄漪;邹军;王银珍;李抒智;杨卫桥;周圣明;徐军. r面白宝石单晶的温梯法生长及缺陷研究[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(4): 653-656.
[12]	彭观??庄漪;邹军;王银珍;刘世良;周国清;周圣明;徐军;干福熹. γ-LiAlO2晶体的生长及掺镓研究[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(3): 399-402.
[13]	彭观良;周圣明;周国清;李抒智;王银珍;邹军;苏凤莲;刘世良;徐军. 温梯法白宝石晶体的表面形貌研究[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(6): 882-886.
[14]	姚冬敏;齐雪君;宋桂兰;袁兰英;仲维卓. BGO晶体的缺陷与性能-(1)缺陷及其形成[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(6): 940-944.
[15]	胡小波;徐现刚;李现祥;董捷;韩荣江;王丽;李娟;王继扬;田玉莲;黄万霞;朱佩平. 同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(3): 332-334.