预处理对超纳米金刚石薄膜表面质量的影响

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (2): 302-305.

预处理对超纳米金刚石薄膜表面质量的影响

黑立富;刘杰;刘金龙;李成明;宋建华;吕反修

北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

出版日期:2012-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金资助项目(51102013/E0206)

Influence of Pretreatment on Surface Quality of Ultra-nanocrystalline Diamond Thin Films

HEI Li-fu;LIU Jie;LIU Jin-long;LI Cheng-ming;SONG Jian-hua;LV Fan-xiu

Online:2012-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文研究了金刚石粉手工研磨及超声波震荡两种预处理方法对硅片衬底及超纳米金刚石膜表面粗糙度和形貌的影响,利用表面轮廓仪、X射线衍射分析(XRD)、激光拉曼、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对衬底及超纳米金刚石膜进行表征.结果表明,由于衬底轮廓的遗传特性,手工研磨的硅片上沉积的超纳米金刚石膜表面粗糙度远高于超声震荡的硅片上沉积的超纳米金刚石膜.

中图分类号:

O484

黑立富;刘杰;刘金龙;李成明;宋建华;吕反修. 预处理对超纳米金刚石薄膜表面质量的影响[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(2): 302-305.

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