射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜的表征和亲水性能

人工晶体学报 ›› 2012, Vol. 41 ›› Issue (2): 329-333.

射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜的表征和亲水性能

孟凡明;任莉;王雷妮;鲁飞

安徽大学物理与材料科学学院,合肥230039;大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,大连116024;安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥230039;海军蚌埠士官学校机械系,蚌埠,233000;安徽大学物理与材料科学学院,合肥230039;安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥230039

出版日期:2012-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
安徽省自然科学基金(1208085ME81);安徽省高等学校省级自然科研基金(KJ2011A010;KJ2012A029);三束材料改性教育部重点实验室(大连理工大学)开放基金(DPI051002);安徽省高等学校省级教学研究项目(20100185);安徽大学211工程三期教学质量工程项目(39020012;xj201140);安徽大学“质量工程”建设基金(XJ200907);安徽大学学术创新团队建设项目(KJTD004B);安徽大学博士科研启动基金资助项目

Characterization and Hydrophilicity of Nano-TiO2 Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering

MENG Fan-ming;REN Li;WANG Lei-ni;LU Fei

Online:2012-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用射频磁控溅射TiO2陶瓷靶的方法在硅和石英衬底上制备纳米TiO2薄膜,并经950℃退火1h.通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV-Vis)和接触角仪对薄膜相结构、表面形貌、光学性能和亲水性能进行表征.结果表明,与950℃退火1h相比,未退火薄膜是无定形结构并呈现较高的光致亲水性能.退火薄膜是锐钛矿和金红石混合相,其中锐钛矿相质量分数是11.34;.未退火和950℃退火1h的薄膜样品的能隙分别是3.03 eV和3.11 eV.未退火薄膜具有较高的光致亲水性能主要归因于其较低的光学能隙.退火薄膜的热致亲水性能与其相结构、表面清洁度和粗糙度有关.

中图分类号:

O484.1

孟凡明;任莉;王雷妮;鲁飞. 射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜的表征和亲水性能[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(2): 329-333.

MENG Fan-ming;REN Li;WANG Lei-ni;LU Fei. Characterization and Hydrophilicity of Nano-TiO2 Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2012, 41(2): 329-333.

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