摘要： 单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素.本文主要介绍的是在制造单晶炉炉室和屯装配调试过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,从而提高单晶炉设备的性能.
中图分类号:
施政. 单晶炉真空密闭性能的检验技术[J]. 人工晶体学报, 2005, 34(1): 190-192.
SHI Zheng. Technology for Measuring Obturation of Vacuum in the Crystal Grower[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2005, 34(1): 190-192.
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