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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (3): 450-453.

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铁电薄膜/半导体异质结构的研究进展

向飞;刘颖;朱时珍   

  1. 北京理工大学材料科学与工程学院,北京,100081
  • 出版日期:2005-06-15 发布日期:2021-01-20

Research Progress in Ferroelectric Thin Film/Semiconductor Heterostructure

Xiang Fei;LIU Ying;ZHU Shi-zhen   

  • Online:2005-06-15 Published:2021-01-20

摘要: 综述了铁电薄膜/半导体异质结构研究近年来的新进展.重点介绍了异质结构制备工艺的改进和界面的最新研究状况.简单叙述了全钙钛矿异质结构的发展情况.指出了铁电薄膜/半导体异质结构研究领域需要解决的一些问题.

关键词: 铁电薄膜;异质结构;缓冲层;界面;全钙钛矿

中图分类号: