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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (4): 620-623.

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CdS薄膜中"白斑"的研究

薛玉明;孙云;周志强;孟广保;汲明亮;郑贵波;李长键   

  1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071
  • 出版日期:2005-08-15 发布日期:2021-01-20

Research on White Flecks in CdS Thin Films

XUE Yu-ming;SUN Yun;Zhou Zhi-qiang;MENG Guang-bao;JI Ming-liang;ZHENG Gui-bo;LI Chang-jian   

  • Online:2005-08-15 Published:2021-01-20

摘要: 本论文对CdS薄膜中的"白斑"进行了研究.化学水浴沉积法(CBD)制备CdS薄膜所需要的化学反应物包括硫脲、氨水、镉盐和铵盐等.文中采用两种镉盐和铵盐来沉积CdS薄膜:氯化镉和氯化铵,乙酸镉和乙酸铵.所沉积的CdS薄膜的表观形貌由SEM表征,成分由EDX表征.当镉盐和铵盐分别采用氯化镉和氯化铵时,生成的薄膜中存在大量的"白斑".这些"白斑"的成分不是CdS,而是(CdCl)2S.增加氨水的浓度可以大大减少这些"白斑",但是不能彻底消除这些"白斑".当镉盐和铵盐分别采用乙酸镉和乙酸铵时,生成的薄膜均匀、平整,薄膜中根本就不存在所谓的"白斑".因此,沉积CdS薄膜时,镉盐和铵盐不宜采用氯化镉和氯化铵,应该采用乙酸镉和乙酸铵.

关键词: 化学水浴沉积法;CdS;白斑

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