金属有机分解法制备钛酸铜钙薄膜

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (1): 152-154.

金属有机分解法制备钛酸铜钙薄膜

杨玉国;王卓;杨长红

山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

出版日期:2006-02-15 发布日期:2021-01-20

Preparation of CaCu3Ti4O12 Thin Films Grown by Metalorganic Solution Deposition

YANG Yu-guo;WANG Zhuo;YANG Chang-hong

Online:2006-02-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用金属有机分解法(MOD)在p-Si(111)衬底上制备了钛酸铜钙(CaCu3Ti4O12)薄膜.对前驱体溶液粉体退火后做了红外和X射线分析;对薄膜退火后做了X射线和原子力显微镜分析.结果表明,在空气中750℃退火1h后,钛酸铜钙结晶良好;钛酸铜钙薄膜的生长为二维生长模式.

中图分类号:

TB43

杨玉国;王卓;杨长红. 金属有机分解法制备钛酸铜钙薄膜[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(1): 152-154.

YANG Yu-guo;WANG Zhuo;YANG Chang-hong. Preparation of CaCu3Ti4O12 Thin Films Grown by Metalorganic Solution Deposition[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(1): 152-154.

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