采用DC Arc Plasma Jet CVD方法沉积微/纳米复合自支撑金刚石膜

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1200-1202.

采用DC Arc Plasma Jet CVD方法沉积微/纳米复合自支撑金刚石膜

戴风伟;陈广超;兰昊;J. Askari;宋建华;李成明;佟玉梅;李彬;黑立富;吕反修

北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

出版日期:2006-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA305508);国家自然科学基金(50472095);教育部留学回国人员科研启动基金(2003-14);北京市科技新星计划项目(2003A13);北京市自然科学基金(2062015)

Micro/Nanocrystalline Composite Free-standing Diamond Films Deposited Using DC Arc Plasma Jet CVD

DAI Feng-wei;CHEN Guang-chao;LAN Hao;J. Askari;SONG Jian-hua;LI Cheng-ming;TONG Yu-mei;LI Bin;HEI Li-fu;LU Fan-xiu

Online:2006-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在30kW级直流电弧等离子体喷射化学气相沉积(DC Arc Plasma Jet CVD)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过调节甲烷浓度以及控制其他沉积参数,在Mo衬底上沉积出微/纳米复合自支撑金刚石膜.实验表明,当微米金刚石膜层沉积结束后,在随后的沉积中,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大小是逐渐减小的.当甲烷浓度达到20;以上时,金刚石膜生长面晶粒呈现菜花状的小晶团,膜体侧面已经没有了粗大的柱状晶,而是呈现出光滑的断口,对该层进行拉曼谱分析显示,位于1145cm-1附近有一定强度的散射峰出现.这说明所沉积的晶粒全部变为纳米级尺寸.

中图分类号:

O484

戴风伟;陈广超;兰昊;J. Askari;宋建华;李成明;佟玉梅;李彬;黑立富;吕反修. 采用DC Arc Plasma Jet CVD方法沉积微/纳米复合自支撑金刚石膜[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(6): 1200-1202.

DAI Feng-wei;CHEN Guang-chao;LAN Hao;J. Askari;SONG Jian-hua;LI Cheng-ming;TONG Yu-mei;LI Bin;HEI Li-fu;LU Fan-xiu. Micro/Nanocrystalline Composite Free-standing Diamond Films Deposited Using DC Arc Plasma Jet CVD[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(6): 1200-1202.

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