电子束蒸发制备ZnO:Al透明导电膜及其性能研究

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1355-1358.

电子束蒸发制备ZnO:Al透明导电膜及其性能研究

王子健;王海燕;郜小勇;吴芳;李红菊;杨根;刘绪伟;卢景霄

郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

发布日期:2021-01-20

Research in Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Films Prepared by Electron Beam Evaporation

WANG Zi-jian;WANG Hai-yan;GAO Xiao-yong;WU Fang;LI Hong-ju;YANG Gen;LIU Xu-wei;LU Jing-xiao

Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 在本实验中我们利用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备了ZnO:Al透明导电膜,并对所得样品在400℃下进行了退火处理.利用扫描电子显微镜观察了样品的表面形貌,利用分光光度计分析了样品的光学性质,结果表明所得样品在可见光范围具有较好的透光性.利用四探针对其进行了电学性质的测量,表明衬底温度为200℃时制备的样品电阻率可达6×10-3Ω·cm.

中图分类号:

O484

王子健;王海燕;郜小勇;吴芳;李红菊;杨根;刘绪伟;卢景霄. 电子束蒸发制备ZnO:Al透明导电膜及其性能研究[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(6): 1355-1358.

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