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人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (5): 901-905.

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湍流型水平式APCVD反应器传热特性的研究

刘石兵;李晖;郭付军;魏家星;李昌烽   

  1. 江苏大学能源与动力工程学院,镇江,212013
  • 出版日期:2013-05-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金项目(11072091);教育部科学技术研究重点项目(210078)

Study on the Thermal Characteristics of Turbulent Horizontal APCVD Reactors

LIU Shi-bing;LI Hui;GUO Fu-jun;WEI Jia-xing;LI Chang-feng   

  • Online:2013-05-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文通过数值模拟以纵向宽高比和横向宽高比分别为10和4的湍流型水平式反应器为例,研究了不同雷诺数(Re)和瑞利数(Ra)下反应器内部的传热问题.结果表明,热对流处于软湍流区时,时均传热量在整个基座横向上分布比较均匀,说明这种湍流型反应器在原则上具有一定的可行性.

关键词: 化学气相沉积;湍流;热对流;传热;水平式反应器

中图分类号: