ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (6): 1143-1147.

ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究

严慧敏;郭颖;朱华新;刘桂林;朱冰洁;李帅;李果华

江南大学理学院,无锡,214122;江南大学物联网工程学院,无锡,214122;江南大学理学院,无锡214122;江苏省(尚德)光伏技术研究院,无锡214028

出版日期:2013-06-15 发布日期:2021-01-20

Comparison between Wet Film and Dry Film Photolithography Fabrication of ITO Electrode

YAN Hui-min;GUO Ying;ZHU Hua-xin;LIU Gui-lin;ZHU Bing-jie;LI Shuai;LI Guo-hua

Online:2013-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 聚合物太阳电池的制备中,阳极ITO的制备是决定器件效率的重要工艺之一.本文主要对ITO电极的湿膜光刻和干膜光刻制备方法进行了比较,并用光学相干断层扫描(OCT)技术等方法对制备的电极进行了检测,结果表明湿膜光刻可以获得较为精细的电极结构.

中图分类号:

TN27

严慧敏;郭颖;朱华新;刘桂林;朱冰洁;李帅;李果华. ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1143-1147.

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