基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (6): 1175-1180.

基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制

许力;鲁二峰;周峰

浙江大学电气工程学院,杭州,310027

出版日期:2013-06-15 发布日期:2021-01-20

Temperature Uniformity Control in MOCVD based on Modeling and Optimization

XU Li;LU Er-feng;ZHOU Feng

Online:2013-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 为了提高MOCVD反应室衬底温度均匀性,提出一种基于建模和优化的控制策略.采用神经网络建立反应室温度特性模型,得到输入功率与反应室衬底温度场之间的关系,在此基础上,以温度均匀性为性能指标,采用仿生优化算法对输入功率配比进行优化,实现MOCVD反应室衬底温度的均匀控制.仿真结果验证了所提出方法的有效性.

中图分类号:

TP273

许力;鲁二峰;周峰. 基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1175-1180.

XU Li;LU Er-feng;ZHOU Feng. Temperature Uniformity Control in MOCVD based on Modeling and Optimization[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(6): 1175-1180.

[1]	黄鸣, 王维. 配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析[J]. 人工晶体学报, 2022, 51(4): 594-599.
[2]	李建鸿;纪文刚;宋星;储承贵. 基于改进BP神经网络算法的激光晶体生长控制研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1438-1444.
[3]	覃佐燕;庄志贤;武红磊;郑瑞生;王科. AlN晶体PVT生长装置的智能控制系统研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(4): 770-776.
[4]	韦永阁;陈英;张强;王昆;徐蕾. RGO-BiVO4复合材料的制备及其模拟太阳光光催化性能的研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(6): 1192-1198.
[5]	张湘辉;汪灵;龙剑平. 直流弧光放电PCVD金刚石膜制备中基底控温系统的研制与应用[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(1): 75-82.
[6]	王伟礼;毕见强;邢政;管培强;张政;孙凌云. 氯化铵对AACH热分解制备纳米α-Al2O3的影响[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(2): 309-312.
[7]	孙军;孔勇发;李兵;张玲;刘士国;黄自恒;瓮松峰;舒永春;许京军. 等径控制系统的改进及在光学级铌酸锂生长中的应用[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(3): 305-309.
[8]	朱胤;左敦稳;王珉;卢文状;宋胜利. 计算机控制CVD金刚石生长系统的研究[J]. 人工晶体学报, 2003, 32(6): 605-609.

基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制

Temperature Uniformity Control in MOCVD based on Modeling and Optimization

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