两步法制备高择优取向的AZO薄膜

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (7): 1257-1260.

两步法制备高择优取向的AZO薄膜

方华靖;严清峰;王晓青;沈德忠

清华大学化学系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084

出版日期:2013-07-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
清华大学信息科学与技术国家实验室(筹)学科交叉基金;清华大学自主科研计划资助课题

Preparation of AZO Films with Highly Preferred Orientation by Two-step Method

FANG Hua-jing;YAN Qing-feng;WANG Xiao-qing;SHEN De-zhong

Online:2013-07-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 通过水热生长的预处理步骤在普通玻璃载玻片表面铺设种子层,然后采用旋涂法在处理好的衬底上涂覆前驱体溶胶,成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)薄膜.利用X射线衍射分析、扫描电镜表征薄膜形貌,并测定薄膜的透射率及电阻率.研究了种子层对AZO薄膜结晶性能、表面形貌及光电性能的影响.结果表明:种子层减少了薄膜生长初期的非晶成份,促进了薄膜的晶化.薄膜在可见光范围内平均透射率超过85;,导电性能也有所改善.

中图分类号:

O484

方华靖;严清峰;王晓青;沈德忠. 两步法制备高择优取向的AZO薄膜[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(7): 1257-1260.

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