种子层诱导溶胶-凝胶法Li,Mg掺杂ZnO薄膜的结构及光电性能研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (7): 1272-1277.

种子层诱导溶胶-凝胶法Li,Mg掺杂ZnO薄膜的结构及光电性能研究

张利静;方华靖;严清峰;沈光球;王晓青;沈德忠

清华大学化学系,北京,100084

出版日期:2013-07-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
清华大学信息科学与技术国家实验室(筹)学科交叉基金;清华大学自主科研计划资助课题;国家自然科学基金重点项目(51132005)

Structure and Optical and Electrical Properties of Li, Mg Doped ZnO Thin Films Prepared by Seed Induced Sol-Gel Method

ZHANG Li-jing;FANG Hua-jing;YAN Qing-feng;SHEN Guang-qiu;WANG Xiao-qing;SHEN De-zhong

Online:2013-07-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜.利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响.结果表明预铺种子层、旋涂8次、在580℃下退火的条件下制得的薄膜性能最好,通过Li、Mg共掺杂使得ZnO薄膜的光致发光性能增强近5倍,近带边发射峰发生蓝移,禁带宽度变大.

中图分类号:

O77+3

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