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人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (7): 1640-1644.

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溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究

年洪恩;申月;任秀峰;李翔;海春喜;云强   

  1. 中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008;中国科学院大学,北京100049;中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008
  • 出版日期:2014-07-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    Qinghai International Cooperation Project(2012-H-813);The Chinese Academy of Sciences " Western light" Talent Cultivation Plan "Joint Scholars"

Structural and Optical Properties of Silver Doped Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-Gel Method

NIAN Hong-en;SHEN Yue;REN Xiu-feng;LI Xiang;HAI Chun-xi;YUN Qiang   

  • Online:2014-07-15 Published:2021-01-20

摘要: 溶胶-凝胶法制备了Ag掺杂的ZnO薄膜(AZO).采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-VIS分光光度计、光致发光检测研究了掺杂浓度和退火温度对AZO薄膜光学和结构的影响.AZO薄膜呈(002)择优生 长的纤维锌矿六角形结构的多晶相.0.5;和1; Ag掺杂的薄膜在可见光波长区域光学透过率在70;~ 80;之间,随着Ag掺杂浓度的升高平均透过率有所降低.5; Ag掺杂的ZnO薄膜经空气中700℃退火后出现两条发射光谱带,经He气氛中退火后UV发射光谱显著增强,并且可见光发射光谱随之消失.

关键词: ZnO薄膜;退火温度;溶胶-凝胶法;Ag掺杂;透过率

中图分类号: