ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (7): 1668-1671.

ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究

王茂州;曾体贤;胡永琴;彭丽萍;王雪敏;吴卫东

中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳,621900

出版日期:2014-07-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
中国博士后科学基金(2013M542294);四川省科技厅应用基础项目(2014JY0133)

Growth Surface Morphology and Formation Mechanism of ZnO Single Crystals

WANG Mao-zhou;ZENG Ti-xian;HU Yong-qin;PENG Li-ping;WANG Xue-min;WU Wei-dong

Online:2014-07-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用石墨辅助化学气相传输法生长了ZnO单晶体.利用XRD、金相显微镜和扫描电镜等对晶体结构和表面形貌进行研究,发现其表面由大量六边形台阶堆垛而成,单个晶粒呈六方伞状结构并始终显露(001)面.同一平面内台阶的大小、陡峭程度存在差异,台阶之间为平行走向.通过形成机制分析,获得生长体系的过饱和度σv约为7;,发现生长表面的腐蚀形貌为六边形平底蚀坑,确定在化学气相法中ZnO单晶呈台阶生长的主要条件是螺旋位错.

中图分类号:

O781

王茂州;曾体贤;胡永琴;彭丽萍;王雪敏;吴卫东. ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(7): 1668-1671.

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