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人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (9): 2329-2334.

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退火温度对Li∶ZnO薄膜紫外发射性能影响

贾相华;尹龙承;姜宏伟;朱瑞华;王丹;郑友进   

  1. 牡丹江师范学院超硬材料重点实验室,牡丹江,157012
  • 出版日期:2014-09-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    黑龙江省自然科学基金(E201341);牡丹江市科技攻关计划(G2013e1233);牡丹江师范学院科学技术研究计划(QC200904)

Influence of Annealing Temperature on Ultraviolet Emission Properties of Li∶ZnO Thin Films

JIA Xiang-hua;YIN Long-cheng;JIANG Hong-wei;ZHU Rui-hua;WANG Dan;ZHENG You-jin   

  • Online:2014-09-15 Published:2021-01-20

摘要: 利用溶胶-凝胶法在Si衬底上制备不同退火温度的Li∶ZnO薄膜.借助X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS)、扫描电镜(SEM)和光致发光(PL)谱研究样品结晶质量、成分、表面形貌和发光特性.结果表明:所有样品均高度c轴择优取向生长;随退火温度升高,样品结晶性变好,紫外发射增强.LiOH在退火温度超过700℃分解,使Li、H进入到ZnO晶格,在ZnO薄膜中形成LiZn-H复合缺陷,这种复合缺陷使H被困在ZnO薄膜中,形成H施主,显著提高ZnO薄膜紫外发光强度,抑制ZnO薄膜绿光发射.

关键词: Li∶ZnO;光致发光;溶胶-凝胶;H施主

中图分类号: