晶体的定偏心平面CMP均匀性研究

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (3): 728-733.

晶体的定偏心平面CMP均匀性研究

王志斌;吴传超;安永泉;赵同林;解琨阳;刘顺

山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,太原,030051

出版日期:2015-03-15 发布日期:2021-01-20

Study on the Uniformity of Certain Eccentricity Surface Chemical Mechanical Polishing of Crystal

WANG Zhi-bin;WU Chuan-chao;AN Yong-quan;ZHAO Tong-lin;XIE Kun-yang;LIU Shun

Online:2015-03-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 晶体的化学机械抛光(CMP)加工中存在工件的表面平整度差的问题.晶体平整度差,两块晶体在真空压合的过程中就会导致晶体被压裂甚至压碎,晶体表面出现任何微小的缺陷都会造成压合的失败,晶体的压合对于晶体表面的平整度要求非常高,因此本文针对这一现象提出一种定偏心平面CMP方式,通过此种被动驱动式平面CMP方法,合理选择CMP及偏心距的参数,使得被加工晶体(ZnSe)的表面粗糙度值达到0.846 nm,平面面形误差小于1.178 μm.

中图分类号:

O786

王志斌;吴传超;安永泉;赵同林;解琨阳;刘顺. 晶体的定偏心平面CMP均匀性研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(3): 728-733.

WANG Zhi-bin;WU Chuan-chao;AN Yong-quan;ZHAO Tong-lin;XIE Kun-yang;LIU Shun. Study on the Uniformity of Certain Eccentricity Surface Chemical Mechanical Polishing of Crystal[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(3): 728-733.

[1]	杨明;杨辉;张志勇;田文;明仕文;张敏;曾体贤. CdSe波片6～12μm波段增透膜研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(4): 576-580.
[2]	张海亮;张明福;韩杰才;侯永昭;杨雯. 镁/钛离子注入对蓝宝石微结构和机械性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(2): 195-204.
[3]	马睿;王建彬;周超群;童勇强;徐义亮. 腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(12): 2216-2221.
[4]	李清连;孙军;吴婧;张玲;许京军. 铌酸锂晶体的研磨损伤层研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 883-888.
[5]	杜鹏鹏;李培;范胜杰;杜敬杰;王连军;江莞. rGO/Ag0.005 Sn0.995 Se热电复合材料的制备及性能研究[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(5): 939-944.
[6]	魏顺勇;张志勇;杨辉;安辛友;张敏;曾体贤. 酸性条件下的CdSe波片抛光工艺研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(6): 1280-1285.
[7]	白亚雯;陈国美;滕康;倪自丰. 阳离子表面活性剂对A向蓝宝石晶片化学机械抛光效率的影响[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(3): 470-475.
[8]	何敏;陈必清;李苗. 复合电极La-Ni-B的制备及电催化偏硼酸钠的性能[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(3): 617-622.
[9]	杨萍;张晨贵;梁莹林;刘有海;阳红;张连新;栾春红;姜晶;王超. SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(4): 896-900.
[10]	黄建东;李军;宋龙龙;花成旭;胡章贵;朱永伟;左敦稳. 抛光液酸碱性对固结磨料抛光硫化锌晶体的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(2): 304-308.
[11]	刘腾云;葛培琪;高玉飞. 制约硅晶片减薄因素研究分析[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(7): 1719-1724.
[12]	滕晓辑;高航;王旭;陈玉川. KDP晶体水溶解辅助金刚石线锯精密切割试验研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(6): 1438-1442.
[13]	吴传超;安永泉;王志斌;杨常青;张瑞. 硒化锌的化学机械抛光研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(1): 61-65.
[14]	焦扬;葛培琪;高玉飞;毕文波. KDP晶体锯切应力场与初始内应力场的耦合分析[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(8): 1504-1508.
[15]	翟永清;王莉莉;陈娟;李蕊;马玉柱. 微波辐射法快速合成CaMoO4∶Eu3+红色荧光粉及其性质研究[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(5): 1216-1220.