工艺参数偏差对纳米压印a-Si太阳电池光学性质的影响

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (5): 1247-1253.

工艺参数偏差对纳米压印a-Si太阳电池光学性质的影响

陆晓东;张鹏;周涛;赵洋;李媛;吕航

渤海大学新能源学院,锦州,121000

出版日期:2015-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(11304020);辽宁省教育厅一般项目(L2012401)

Influence of Process Parameter Deviation on the Optical Properties of a-Si Solar Cell Fabricated by Nanoprinted Technology

LU Xiao-dong;ZHANG Peng;ZHOU Tao;ZHAO Yang;LI Yuan;LV Hang

Online:2015-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 先基于实际工艺条件和频域有限差分法,优化了纳米压印三角带型a-Si太阳电池织构结构,然后重点探讨了有源层和铝背反镜厚度偏差、SiNx增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何尺寸偏差对a-Si太阳电池光电流密度的影响.研究表明:TM模受有源层和铝背反镜厚度偏差、SiNx增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何尺寸偏差的影响较小,平均光电流密度的变化主要受TE模光电流随工艺偏差的影响;增透膜和压印模板制备过程中,有效控制工艺参数的偏离是获得最优a-Si太阳电池设计性能的关键.

中图分类号:

TK514

陆晓东;张鹏;周涛;赵洋;李媛;吕航. 工艺参数偏差对纳米压印a-Si太阳电池光学性质的影响[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(5): 1247-1253.

LU Xiao-dong;ZHANG Peng;ZHOU Tao;ZHAO Yang;LI Yuan;LV Hang. Influence of Process Parameter Deviation on the Optical Properties of a-Si Solar Cell Fabricated by Nanoprinted Technology[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(5): 1247-1253.

[1]	张帆;陈诗文;徐建文;刘广明;王志超. 柔性砷化镓薄膜太阳电池剥离(lift-off)技术研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(10): 2200-2204.
[2]	高洁;陆晓东;王欣欣;王洋;李禹阔;张宇峰. 基于微腔陷光的超薄晶硅电池结构设计[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(8): 1670-1674.
[3]	宋扬;陆晓东;王欣欣;赵洋;王泽来. 光学微腔型a-Si薄膜电池陷光结构设计[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(6): 1048-1053.
[4]	周涛;陆晓东;吴元庆. 硅NPN型红外光电晶体管输出光电流及线性度的研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(7): 1770-1774.
[5]	陆晓东;赵洋;王泽来;宋扬;张金晶. 太阳电池背反镜的吸收损耗性质研究[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(5): 1409-1415.
[6]	陆晓东;王泽来;宋扬;赵洋;张金晶. 非晶硅太阳电池用Ag背反镜的吸收损耗[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(3): 661-666.
[7]	龚洪勇;黄海宾;周浪. 晶体硅金字塔绒面结构圆化对其光反射率和非晶硅薄膜钝化效果的影响[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(4): 913-917.
[8]	陈文浩;凌继贝;周浪. 直拉单晶硅片“黑心”现象性质分析[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(2): 348-353.
[9]	陆晓东;张鹏;周涛;赵洋;王泽来;吕航;张明. 基于一维光子晶体陷光的超薄晶硅太阳电池光学结构优化[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(11): 2918-2922.
[10]	郭颖;刘桂林;朱华新;严慧敏;朱冰洁;李帅;于海民;孙亚军;李果华. MEH-PPV/ZnO-QDs聚合物太阳电池光伏性能研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(5): 1168-1173.
[11]	王旭;张海明;杨金梅;秦飞飞;王彩霞. AAO纳米光栅结构参数对薄膜硅太阳能电池光吸收的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(4): 870-873.
[12]	戴小宛;张德贤;蔡宏琨;仲玉泉;于倩;苏超. 单晶硅表面制绒及其特性研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(2): 308-313.
[13]	陈文浩;李妙;刘小梅;魏秀琴;周浪. 金刚石切割多晶硅片切割痕性质与消除方法研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(2): 314-320.
[14]	陆晓东;伦淑娴;周涛;王月;张明. 基于一维光子晶体陷光的超薄晶硅太阳电池研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(4): 630-634.
[15]	程碧胜;雷青松;徐静平;薛俊明. 用于薄膜太阳能电池的非晶硅锗制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(6): 1514-1518.