溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其微结构特性研究

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (5): 1294-1299.

溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其微结构特性研究

李旭;杨定宇;朱兴华;孙辉;高秀英

成都信息工程大学光电技术学院,成都,610225

出版日期:2015-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
四川省教育厅重点项目(10ZA131);双流县科技局科技孵化项目(13H012)

Microstructure Characteristics of ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method

LI Xu;YANG Ding-yu;ZHU Xing-hua;SUN Hui;GAO Xiu-ying

Online:2015-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备氧化锌(ZnO)薄膜,研究镀膜层数和退火温度对ZnO薄膜晶体结构、光谱性质及表面形貌的影响.X射线衍射谱测试表明,退火温度为600℃、镀膜层数为10层时制备样品的晶粒尺寸最大,结晶度最好.紫外-可见透过谱发现,样品退火后其透过率曲线变得陡直,光学带隙随退火温度升高而逐渐减小.光致发光谱测试显示,ZnO薄膜的发光谱包含388 nm和394 nm附近的两个主要发光峰,分别对应于本征发射和缺陷发射,其强度随退火温度升高呈现相反的变化.原子力显微照片则显示了随退火温度的升高制备样品表面晶粒的分布趋于均匀而致密.

中图分类号:

O484.4

李旭;杨定宇;朱兴华;孙辉;高秀英. 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其微结构特性研究[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(5): 1294-1299.

LI Xu;YANG Ding-yu;ZHU Xing-hua;SUN Hui;GAO Xiu-ying. Microstructure Characteristics of ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2015, 44(5): 1294-1299.

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