Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系

人工晶体学报 ›› 2015, Vol. 44 ›› Issue (5): 1354-1358.

Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系

江鑫;贾涓;吴隽;龚甜;卢智

武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室,武汉,430081

出版日期:2015-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
湖北省自然科学基金(2014CFB798)

Relationship between Crystallographic Orientation of Al Substrate and Texture of ZnO Thin Film

JIANG Xin;JIA Juan;WU Jun;GONG Tian;LU Zhi

Online:2015-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以发生了二次再结晶的高纯Al为衬底材料,采用射频磁控溅射法制备了ZnO薄膜.研究了溅射工艺及Al衬底取向对ZnO薄膜的影响,分析了Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系.结果显示,当溅射工艺恰当时,高纯Al衬底上可以制备出晶态ZnO薄膜,但Al衬底的取向对ZnO薄膜的结晶性具有更大的影响.Al衬底的轧面上主要为{100}面织构,沉积的ZnO薄膜主要是{0002}面织构和少量的{1120}面织构组分.

中图分类号:

O484

江鑫;贾涓;吴隽;龚甜;卢智. Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(5): 1354-1358.

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