钙钛矿型氧化物电极对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜电学性能的影响

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (5): 1353-1356.

钙钛矿型氧化物电极对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜电学性能的影响

秦文峰;韩孝强

中国民航飞行学院航空工程学院,德阳,618307

出版日期:2016-05-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金民航联合基金重点项目(U1233202)

Effect of Perovskite Oxide Electrodes on Electrical Properties of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Film

QIN Wen-feng;HAN Xiao-qiang

Online:2016-05-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶基片LaAlO3(001)、MgO(002)上分别制备Ba06Sr04TiO3/La0.5Sr05CoO3(BST/LSCO)、Ba0.6Sr04TiO3/SrRuO3 (BST/SRO)异质结构,研究了LSCO和SRO底电极对BST薄膜晶相结构、表面形貌及BST薄膜电容器的电学特性的影响.研究发现,沉积在钙钛矿氧化物底电极上的BST薄膜表面平整,并都具有良好的外延生长.由于生长在LSCO底电极BST薄膜的压应力大于生长在SRO底电极的压应力,BST/LSCO异质结构的介电可调率为79.58;,而BST/SRO的介电可调率仅为68.26;,两种底电极上生长的BST薄膜都具有较低的漏电流.

中图分类号:

O484

秦文峰;韩孝强. 钙钛矿型氧化物电极对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜电学性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(5): 1353-1356.

QIN Wen-feng;HAN Xiao-qiang. Effect of Perovskite Oxide Electrodes on Electrical Properties of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Film[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2016, 45(5): 1353-1356.

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