环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜

人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (8): 2028-2033.

环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜

李义锋;唐伟忠;苏静杰;安晓明;刘晓晨;姜龙;孙振路

北京科技大学新材料技术研究院,北京100083;河北省激光研究所,石家庄050081;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,石家庄050081;北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083;中国科学院北京纳米能源与系统研究所,北京,100083;河北省激光研究所,石家庄050081;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,石家庄050081

出版日期:2016-08-15 发布日期:2021-01-20

Deposition of High Quality Diamond Films with High Power by a Circumferential Antenna Ellipsoidal Cavity Type MPCVD Reactor

LI Yi-feng;TANG Wei-zhong;SU Jing-jie;AN Xiao-ming;LIU Xiao-chen;JIANG Long;SUN Zhen-lu

Online:2016-08-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性.在10.5 kW的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜.在真空泄漏速率约2.5 ×10-6 Pa·m3/s的条件下金刚石膜的生长速率达到6μm/h,金刚石膜厚度偏差小于±2.1;.抛光后的金刚石膜红外透过率在6.5～25μm范围内接近71;;紫外透过率在270 nm处超过50;,金刚石膜样品的光学吸收边约为225 nm;通过紫外吸收光谱计算的金刚石膜样品中的氮杂质含量约为1.5 ppm;金刚石膜的拉曼半峰宽小于1.8 cm-1.

中图分类号:

O614

李义锋;唐伟忠;苏静杰;安晓明;刘晓晨;姜龙;孙振路. 环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜[J]. 人工晶体学报, 2016, 45(8): 2028-2033.

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