人工晶体学报 ›› 2017, Vol. 46 ›› Issue (1): 13-17.
刘志辉;罗玉峰;龚洪勇;饶森林;张发云;胡云
出版日期:
2017-01-15
发布日期:
2021-01-20
基金资助:
LIU Zhi-hui;LUO Yu-feng;GONG Hong-yong;RAO Sen-lin;ZHANG Fa-yun;HU Yun
Online:
2017-01-15
Published:
2021-01-20
摘要: 对经过前期提纯的冶金级硅料进行一次性定向凝固生长多晶硅铸锭,研究了长晶阶段降温速率对多晶硅少子寿命的影响。结果显示降温速率越低,获得多晶硅少子寿命越高,但降温速率低到一定程度时,少子寿命反而会降低。通过测试生长多晶硅硅锭曲率半径、晶体结构等数据,分析了该现象的产生原因。这将有助于升级冶金硅一次性定向凝固生长多晶硅铸锭的生产应用。
中图分类号:
刘志辉;罗玉峰;龚洪勇;饶森林;张发云;胡云. 降温速率对升级冶金硅定向凝固生长多晶硅少子寿命的影响[J]. 人工晶体学报, 2017, 46(1): 13-17.
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