基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟

人工晶体学报 ›› 2019, Vol. 48 ›› Issue (1): 144-148.

基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟

李有斌;张胜涛;何银凤;梁世民;韩金豆;付昊;赵丽丽

青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,西宁,810000;哈尔滨工业大学化学与化工学院,哈尔滨,150001

出版日期:2019-01-15 发布日期:2021-01-20

Three Dimensional Numerical Simulation of Electronic Grade Polysilicon Reduction Furnace Based on PolySim Software

LI You-bin;ZHANG Sheng-tao;HE Yin-feng;LIANG Shi-min;HAN Jin-dou;FU Hao;ZHAO Li-li

Online:2019-01-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 利用PolySim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区域沉积不均匀的主要原因.和实际生产结果对比表明,模拟计算数据的误差不超过5;.

中图分类号:

O482

李有斌;张胜涛;何银凤;梁世民;韩金豆;付昊;赵丽丽. 基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(1): 144-148.

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