摘要： 声子晶体是一种周期复合人工超材料.声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力.利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大.设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能.内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面.
中图分类号:
郑忱煜;徐德辉;熊斌. 基于微机械加工工艺的声子晶体器件[J]. 人工晶体学报, 2019, 48(8): 1418-1423.
ZHENG Chen-yu;XU De-hui;XIONG Bin. Phononic Crystal Devices Based on Micromachining Technology[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2019, 48(8): 1418-1423.
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