基于M IC的Cz单晶硅放肩阶段关键特征参数辨识

人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (4): 607-612.

基于M IC的Cz单晶硅放肩阶段关键特征参数辨识

赵华东;翟晓彤;田增国;李欣鸽

郑州大学机械与动力工程学院,郑州,450001;郑州大学物理学院,郑州,450001

出版日期:2020-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
智能制造综合标准化与新模式应用项目

Identification of Key Characteristic Parameters of Cz-Si Monocrystal during Shoulder Growth Process Based on MIC

ZHAO Huadong;ZHAI Xiaotong;TIAN Zengguo;LI Xinge

Online:2020-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 直拉单晶硅生长过程中放肩阶段常由于断棱的出现导致无法顺利进入等径生长.为研究影响断棱的关键特征参数,提出采用最大互信息系数法(MIC)辨识直拉单晶硅放肩阶段关键特征参数.分别采用最大互信息系数法(MIC)、层次分析法(AHP)计算特征参数与放肩断棱的相关系数,按照降序依次提取前k项直至全部特征参数作为输入参数,在逻辑斯蒂回归模型进行放肩断棱预测评估.结果表明,采用MIC提取特征参数的前13项特征作为输入参数时,模型的准确度最高;且采用MIC法在预测精度上优于AHP法.

中图分类号:

赵华东;翟晓彤;田增国;李欣鸽. 基于M IC的Cz单晶硅放肩阶段关键特征参数辨识[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(4): 607-612.

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