人工晶体学报 ›› 2020, Vol. 49 ›› Issue (11): 2206-2210.
• • 上一篇
胡继超;王曦;贾仁需;蒲红斌;陈治明
出版日期:
2020-11-15
发布日期:
2021-01-20
基金资助:
HU Jichao;WANG Xi;JIA Renxu;PU Hongbin;CHEN Zhiming
Online:
2020-11-15
Published:
2021-01-20
摘要: 利用水平热壁CVD方法,基于SiH4-C3 H8-H2生长系统在n型4H-SiC偏4°衬底上进行同质外延生长.通过Nomarski光学显微镜、激光共聚焦显微镜和拉曼散射光谱(Raman),对外延层中的新形貌三角形缺陷——顶端有倒金字塔结构的三角形缺陷(IPRTD)的表面形貌、结构进行了表征,并根据表征结果提出了该新形貌三角形缺陷的产生机理.研究结果表明,IPRTD由3C-SiC晶型构成;在外延生长中,位于IPRTD生长方向上游的位错缺陷所引起的表面吸附原子的2D成核生长是导致3C-SiC晶型出现的主要原因.同时,外延生长过程中,生长速率和氢气刻蚀作用在[1120]和[1100]/[1100]方向上的差异是导致IPRTD顶端具有倒金字塔结构的主要原因.
中图分类号:
胡继超;王曦;贾仁需;蒲红斌;陈治明. 偏4°4H-SiC同质外延层上新形貌三角形缺陷研究[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(11): 2206-2210.
HU Jichao;WANG Xi;JIA Renxu;PU Hongbin;CHEN Zhiming. New Type of Triangular Defects in 4H-SiC 4°Off-Axis Homoepitaxial Layers[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2020, 49(11): 2206-2210.
[1] | 林海鑫, 高德东, 王珊, 张振忠, 安燕, 张文永. 大尺寸直拉硅单晶生长的多物理场建模与优化[J]. 人工晶体学报, 2025, 54(1): 17-33. |
[2] | 李泓沅, 孙敦陆, 张会丽, 罗建乔, 权聪, 程毛杰. 含镓石榴石系列大晶格常数磁光衬底单晶研究进展[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1657-1668. |
[3] | 周霖涛, 赵涛, 孙志刚, 姜林文, 潘尚可, 潘建国, 郑燕青. 坩埚下降法生长2英寸镱掺杂钙铌镓石榴石单晶[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1669-1674. |
[4] | 丁雨憧, 张灵, 李海林, 张月, 唐杨, 强铭, 林辉. 水平定向结晶法生长浓度渐变Yb∶YAG激光晶体及光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1688-1698. |
[5] | 王文凯, 潘秀红, 胡雨青, 刘学超, 陈小红, 陈锟, 方婧红, 贺欢, 倪津崎. GaFeO3∶Mg晶体的生长及磁学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(10): 1699-1704. |
[6] | 覃佐燕, 金雷, 李文良, 谭俊, 何广泽, 武红磊. PVT法AlN晶体生长模式调控研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(9): 1542-1549. |
[7] | 孙元龙, 胡子钰, 郑国宗. 大尺寸CH3NH3PbBr3晶体生长和光电性能表征[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(8): 1313-1318. |
[8] | 陈鑫鑫, 韩佳力, 潘建国. 大尺寸高质量CsCu2I3晶体生长与发光性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1106-1111. |
[9] | 李琳, 张沛雄, 谭俊成, 朱思祁, 尹浩, 李真, 陈振强. Er掺杂PbF2晶体的局域团簇结构与光谱性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1112-1120. |
[10] | 凌昊, 徐乐, 陈思贤, 唐远之, 孙海滨, 郭学, 冯玉润, 胡强强. 溶液法生长大尺寸CsCu2I3钙钛矿单晶及其光学性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1121-1126. |
[11] | 倪浩然, 陈亚, 王黎光, 芮阳, 赵泽慧, 马成, 刘洁, 张兴茂, 赵延祥, 杨少林. 热屏结构对300 mm半导体级单晶硅生长过程温度分布影响的数值模拟[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1196-1211. |
[12] | 于行, 赵琪, 齐小方, 马文成, 徐永宽, 胡章贵. 热交换法掺钛蓝宝石晶体生长过程中内辐射传热对晶体热应力的影响[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(7): 1212-1221. |
[13] | 王鸿雁, 王世武, 聂奕, 张行愚, 张芳, 许辉, 李瑞茂, 匡永飞. 大尺寸优质Cr3+∶BeAl2O4晶体生长与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 947-952. |
[14] | 施宇峰, 王鹏飞, 穆宏赫, 苏良碧. 尺寸效应对坩埚下降法生长氟化钙晶体影响机制的数值模拟分析[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(6): 973-981. |
[15] | 艾家辛, 万洪平, 钱俊兵, 韦华. VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究[J]. 人工晶体学报, 2024, 53(5): 781-791. |
阅读次数 | ||||||
全文 |
|
|||||
摘要 |
|
|||||