CO2作为单一气相碳氧源制备碳掺杂钛氧薄膜的成分结构性能研究

人工晶体学报 ›› 2018, Vol. 47 ›› Issue (3): 528-533.

CO2作为单一气相碳氧源制备碳掺杂钛氧薄膜的成分结构性能研究

魏博;文峰;曹华堂

海南大学材料与化工学院,热带岛屿资源先进材料教育部重点实验室,海口570228;海南大学材料与化工学院,热带岛屿资源先进材料教育部重点实验室,海口570228;陕西理工大学材料科学与工程学院,汉中723000;格罗宁根大学科学与工程学院先进制造工程,格罗宁根9747AG

出版日期:2018-03-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51461015);海南省重点研发计划(ZDYF2016019)

Research of Composition and Structure of Carbon Doped Ti-O Films Prepared Using CO2 as Single Carbon and Oxygen Source

WEI Bo;WEN Fen;CAO Hua-tang

Online:2018-03-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用单极脉冲反应磁控溅射,以CO2作为单一气相碳源和氧源,通过控制反应气体流量,制备了碳掺杂钛氧(C∶Ti-O)薄膜.通过原子力显微镜,拉曼光谱和X射线光电子能谱对薄膜的表面形貌、结构和成分进行了表征,利用紫外可见-分光光度计得到了薄膜的透射光谱并用Tauc作图法计算薄膜的带隙宽度,用纳米力学系统测试了薄膜的力学性能.结果表明,随着CO2流量的增大,沉积速率呈先增大后减小的趋势.制备的薄膜主要以金红石相存在,并存在少量锐钛矿相和TiO.C的掺入使得C∶Ti-O薄膜的带隙宽度有不同程度的降低,薄膜硬度也有所提高.

中图分类号:

O782

魏博;文峰;曹华堂. CO2作为单一气相碳氧源制备碳掺杂钛氧薄膜的成分结构性能研究[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(3): 528-533.

WEI Bo;WEN Fen;CAO Hua-tang. Research of Composition and Structure of Carbon Doped Ti-O Films Prepared Using CO2 as Single Carbon and Oxygen Source[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2018, 47(3): 528-533.

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