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人工晶体学报 ›› 2018, Vol. 47 ›› Issue (3): 534-538.

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氩氧混合气体及纯氧气氛下脉冲激光沉积法制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的研究

张宇生;代秀红;刘保亭;娄建忠   

  1. 河北大学电子信息工程学院,保定,071002;河北大学物理科学与技术学院,保定,071002
  • 出版日期:2018-03-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(11374086);河北省自然科学基金(E2014201188,A2018201168)

Investigation of YBa2Cu3O7-δ Superconducting Films Prepared in Argon Oxygen Mixed Atmosphere and Pure Oxygen Atmosphere by Pulsed Laser Deposition Method

ZHANG Yu-sheng;DAI Xiu-hong;LIU Bao-ting;LOU Jian-zhong   

  • Online:2018-03-15 Published:2021-01-20

摘要: 利用脉冲激光沉积法(PLD)在保证其它实验参数不变的情况下,分别在Ar∶O2为3∶1和纯O2的气氛中,在(001) SrTiO3 (STO)基片上制备了外延的高质量YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜.X射线衍射表明在氩氧混合气体下制备的YBCO薄膜具有更好的结晶质量.扫描电子显微镜测量结果发现:相比于纯O2氛围下制备的YBCO样品,在氩氧混合氛围中制备的薄膜表面具有较小颗粒密度.通过四引线法获得YBCO薄膜的归一化电阻(R/R100K)随温度(T)的变化关系发现,虽然对应不同氛围制备的YBCO薄膜的零电阻转变温度均为90.0K,但是,对应氩氧混合气体的YBCO具有更小的正常态电阻.研究结果表明脉冲激光制备YBCO的过程中,引入氩气可以改善YBCO薄膜的结构和性能.

关键词: YBa2Cu3O7-δ薄膜;氩气;表面形貌;超导性

中图分类号: